產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品名稱：超低析出 / 潔凈型全氟醚 O 型圈（半導(dǎo)體 / 制藥級）

改性體系：高純 FFKM + 無灰白炭黑 + 潔凈硫化體系

潔凈指標(biāo)：

TOC：＜1ppm（總有機析出）

金屬離子：Na/Fe/K/Ca 等＜ppb 級

耐等離子體：刻蝕速率 **＜0.1μm/h**

真空漏率：≤1×10?? Pa·m3/s

核心優(yōu)勢：

零污染：無析出、無揮發(fā)、不污染介質(zhì) / 產(chǎn)品

耐等離子體：半導(dǎo)體蝕刻 / CVD / 刻蝕機穩(wěn)定

耐高溫：327℃長期，熱穩(wěn)定性極佳

耐強蝕：耐氫氟酸、硝酸、堿、氧化劑

合規(guī)認(rèn)證：FDA、ISO 10993、SEMI F47、RoHS