定制化交鑰匙解決方案——超薄高剛...
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定制化交鑰匙解決方案——超薄高剛性XYZT氣浮運動平臺
所屬企業(yè)：雅科貝思精密機電（上海）有限公司視頻類型：產品視頻
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雅科貝思的高剛性XYZT氣浮運動平臺，擺動式雙向重復檢測結果顯示，X軸雙向重復精度43 nm，Y軸雙向重復精度59 nm。氣浮平臺相關核心部件均自研，為客戶定制整套解決方案。
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